تجهیزات اصلی خط تولید خودکار تمیز کردن روابط عمومی برای تولید کنندگان صفحه نمایش LCD
خط تولید خودکار تمیز کردن PR (مقاومت نوری) یک تجهیزات اصلی فرآیند مرطوب در تولید نمایشگر LCD است. اساساً پس از فرآیند فوتولیتوگرافی روی بستر آرایه برای حذف کامل مواد مقاوم به نور، باقیمانده های اچ و میکرو{1}}سطح استفاده می شود. این تجهیزات بسیار مهمی برای اطمینان از دقت مدار پانل و بهبود عملکرد محصول است. کاملاً برای محیط تولید سختگیرانه اتاق تمیز کلاس 100 مناسب است و به عملیات تمیز کردن حلقه بسته-با دقت بالا، خودکار و آلودگی-رایگان- دست مییابد.
با هدف قرار دادن بقایای مقاوم به نور مثبت و منفی پس از فرآیند فوتولیتوگرافی، از یک-تمیز کردن اولتراسونیک چند مرحلهای + فرآیند شستشوی سرریز آب خالص برای حذف عمیق زبالهها، آلایندههای آلی، ذرات گرد و غبار و سایر ناخالصیهای باقی مانده پس از حکاکی فوتولیتوگرافی استفاده میکند. این می تواند بقایای میکروسکوپی زیر 0.5 میکرومتر را کاملاً حذف کند و از نقص هایی مانند مدارهای باز پانل، نقاط روشن و لکه های مورا ناشی از ناخالصی ها جلوگیری کند. همراه با سیستم فیلتراسیون دقیق 0.1 میکرومتر-از آلودگی ثانویه جلوگیری می کند. حذف کامل و بدون آسیب-، جلوگیری از تأثیر لایههای چسب باقیمانده بر فرآیندهای حکاکی و پوششدهی بعدی، با نرخ پوشش حذف 100 درصد انجام میشود.
ماژول کنترل الکترواستاتیک داخلی-در ESD مقدار الکترواستاتیک را در محدوده کمتر یا مساوی ± 100 ولت کنترل میکند. در ترکیب با مواد ضد استاتیک حفره ای و فن آوری تحویل چرخ مغناطیسی غیر تماسی، از تخلیه الکترواستاتیکی در اثر آسیب رساندن به مدار دقیق پانل جلوگیری می کند، در حالی که از ایجاد خراش، بریدگی و ایجاد گرد و غبار در اثر اصطکاک بر روی زیرلایه شیشه جلوگیری می کند، بنابراین حفاظت از یکپارچگی زیرلایه را به حداکثر می رساند.
محفظه تست دمای ثابت با دمای بالا و پایین
هسته تجهیزات خط تولید تمیز کردن و خشک کردن خودکار برای تولید کنندگان صفحه نمایش LCD یک حالت خشک کردن دوگانه را ادغام می کند: برش با چاقوی هوا و خشک کردن با دمای ثابت-هوای گرم. این کار به سرعت لکههای آب را از سطح زیرلایه پاک میکند و به خشک شدن بدون واترمارک-آزاد و ردیابی-دست مییابد. پس از خشک شدن، میزان رطوبت سطح زیرلایه به صفر نزدیک می شود و امکان انتقال مستقیم به فرآیند بعدی بدون پردازش ثانویه را فراهم می کند و تداوم فرآیند را تضمین می کند. یک سیستم کنترل PLC، عملیات بارگیری، موقعیتیابی، تمیز کردن و تخلیه را بهطور کامل خودکار میسازد. از عملکردهای نظارت بر زمان واقعی و زنگ هشدار برای تنظیم غلظت محلول تمیز کردن، دما، رطوبت و تمیزی پشتیبانی می کند. محفظه مهر و موم شده و طراحی فشار منفی گرادیان از نشت گاز شیمیایی جلوگیری می کند. در ترکیب با محیط فشار مثبت اتاق تمیز کلاس 100، بازیافت آب فوقالعاده و طبقهبندی و بازیابی مایعات زباله را نیز امکانپذیر میسازد که هم نیازمندیهای صرفهجویی در انرژی و هم نیازمندیهای حفاظت از محیط زیست را برآورده میکند.
در مقایسه با تمیز کردن دستی سنتی، خطوط تولید تمیز کردن PR کاملاً خودکار دارای مزایای غیرقابل جایگزینی هستند: راندمان تمیز کردن بیش از 3 برابر افزایش می یابد و تقریباً 10000 بستر شیشه ای را می توان در هر شیفت پردازش کرد که به طور قابل توجهی چرخه فرآیند را کوتاه می کند. قوام تمیز کردن عالی است، باقیماندههای کوچکتر از 0.5 میکرومتر را کاملاً از بین میبرد، نرخ عیب پانل را تا 0.5 PPM کنترل میکند، به طور موثر از نقصهایی مانند نقاط روشن، نقاط تاریک و قطع شدن مدار روی صفحه جلوگیری میکند. این تجهیزات دارای طراحی-صرفهجویی در مصرف آب و انرژی{7}}با نرخ بازیافت آب خالص بالا و جمعآوری و تصفیه طبقهبندی فاضلاب، مطابق با الزامات تولید حفاظت از محیط زیست است. کل دستگاه از فولاد ضد زنگ PVC و SUS304 مقاوم در برابر خوردگی ساخته شده است، با آب بندی قوی، تمیز کردن و نگهداری آسان، و برای کارکرد مداوم 24{11}ساعته در اتاق های تمیز مناسب است، و تبدیل به تجهیزات استاندارد برای تولید کنندگان صفحه نمایش LCD برای ایجاد خطوط تولید با کیفیت بالا و افزایش رقابت اصلی می شود.
تجهیزات اصلی در کارگاه فوتولیتوگرافی تولیدکنندگان نمایشگر LCD
تجهیزات نوردهی تجهیزات اصلی در کارگاه فوتولیتوگرافی و یک منطقه فرآیند کلیدی در فرآیند تولید آرایه LCD است. این دستگاه که به عنوان دستگاه لیتوگرافی پانل نیز شناخته می شود، یک دستگاه فرآیند مرطوب نوری با دقت بالا-است. عملکرد اصلی آن انتقال الگوی طراحی مدار بستر بر روی یک زیرلایه شیشه ای پوشش داده شده با مقاومت نوری از طریق نوردهی نوری است که برای تشکیل مدارهای میکرو{3}} در پانل بسیار مهم است. انتقال دقیق الگوی مدار از ماسک نوری به زیرلایه شیشه ای، پیش نیاز فرآیندهای بعدی حکاکی، پوشش و تمیز کردن روابط عمومی است که مستقیماً کیفیت صفحه نمایش را تعیین می کند. این تجهیزات از یک فرآیند قرار گرفتن در معرض غیر تماسی استفاده میکند، مناسب برای زیرلایههای شیشهای LCD با اندازه بزرگ-و نازک، و از خراشیدگی، آسیب و آلودگی، جلوگیری میکند.
نکات برجسته فناوری شامل یک سیستم تراز با دقت بالا-با دقت روکش سطح-میکرون یا حتی زیر{2}}میکرون{3}}، تضمین عدم تراز عدم تراز در مدارهای چندلایه با خطاهای کنترل شده تا چند هزارم یک مو می باشد. استفاده از منبع نور یکنواخت و فناوری فوکوس پویا برای دستیابی به نوسانات انرژی نوردهی<±3% on large-size substrates of several square meters, guaranteeing pattern consistency; a vacuum adsorption substrate platform to effectively suppress substrate deformation and improve exposure pass rate; and a PLC intelligent control system to achieve fully automated substrate loading, pre-alignment, exposure, and unloading, supporting online parameter monitoring, anomaly alarms, and data traceability, suitable for 24-hour continuous mass production.
کل کارگاه از یک منبع نور زرد تک رنگ 589 نانومتری استفاده میکند که نور با طول موج کوتاه- مانند نور ماوراء بنفش، آبی و سفید را کاملاً فیلتر میکند و از تحریک زودهنگام این اشعهها در واکنشهای فتوشیمیایی در مقاومت نوری جلوگیری میکند و باعث نقصهای مرگبار مانند ناهماهنگی الگو، خطوط ناقص، خطوط باز و مدارهای کوتاه میشود. سیستم روشنایی از ترکیبی از LEDهای زرد اختصاصی و فیلترهای دو لایه-برای جلوگیری از نشت نور سرگردان استفاده میکند. درها، پنجرهها و پنجرههای دید با مواد فیلتر ضد اشعه ماوراء بنفش{4} مجهز شدهاند. تلفنهای همراه، دوربینها،{5}چراغ قوههای پرقدرت و سایر منابع نور خارجی در داخل کارگاه اکیداً ممنوع هستند، و کنترل انضباط نور کامل منطقه برای از بین بردن خطر مواجهه زودهنگام نور مقاوم از منبع اجرا میشود.
معرفی اتاق های تمیز کلاس 100 برای تولید کنندگان صفحه نمایش LCD
در زمینه ساخت{0}LCD با دقت بالا، اتاقهای تمیز کلاس 100 (اتاقهای تمیز کلاس 5 ISO) مرکز اصلی تولید و شاخص کلیدی قدرت فنی و بازده محصول سازنده است. آنها به طور گسترده در مراحل فرآیند اصلی مانند آرایه، مونتاژ سلولی و بسته بندی ماژول توسط شرکت های نمایشگر برجسته مانند BOE، TCL CSOT، HKC و Tianma استفاده می شوند. این اتاقهای تمیز دارای استانداردهای تمیزی دقیقی هستند که بیش از 100 ذره گرد و غبار معلق بیشتر از یا مساوی 0.5 میکرومتر قطر در هر فوت مکعب هوا (کمتر یا مساوی 3520 در هر متر مکعب) ندارند. این سطح تمیزی بسیار فراتر از اتاق های عمل پزشکی است و به عنوان یک "موانع سخت" برای جلوگیری از تداخل گرد و غبار، الکتریسیته ساکن و آلاینده های شیمیایی در فرآیندهای دقیق عمل می کند. این یک جزء سخت افزاری اصلی است که مستقیماً کیفیت تصویر، طول عمر و میزان بازده صفحه را تعیین می کند.
این کارگاه کاملاً مطابق با استانداردهای بین المللی و داخلی ISO طراحی و ساخته شده است. این یک حالت جریان هوای یک طرفه عمودی، همراه با یک-سیستم فیلتراسیون ULPA چهار مرحلهای (پیش-فیلتر،-فیلتر با راندمان متوسط، فیلتر با راندمان بالا-فیلتر-بالا-با راندمان فوقالعاده{-بالا-} و راندمان فوقالعاده، همراه با یک-سیستم فیلتراسیون ULPA چهار مرحلهای است. گرد و غبار و حذف مناطق مرده جریان هوا. به طور همزمان، کنترل دقیق محیطی در همه ابعاد به دست می آید: دمای ثابت 1±23 درجه، رطوبت نسبی کنترل شده در 45%{14}}55٪، وضعیت فشار مثبت در منطقه تمیز حفظ می شود، و اختلاف فشار بیشتر یا مساوی 10 Pa بین مناطق مجاور، به طور کامل از نفوذ گرد و غبار خارجی جلوگیری می کند. با توجه به حساسیت پانلهای نمایشگر به آسیبهای الکترواستاتیک، از کفپوشهای ضد-اپوکسی خود تراز{17}}استفاده میشود و از 304 صفحه فولادی ضد زنگ و استیل رنگی اتاق تمیز برای دیوارها و سقفها با کنترل دقیق مقادیر الکتریسیته ساکن در طول فرآیند استفاده میشود. کنترل اضافی برای آلایندههای شیمیایی VOC مولکولی و تداخل پنهان مانند ارتعاشات میکرو، برآورده کردن الزامات فرآیندهای نانومقیاس مانند فوتولیتوگرافی، رسوب لایه نازک، و تزریق کریستال مایع ارائه شده است.
این کارگاه از یک طرح منطقهبندی اتاق تمیز طبقهبندی شده استفاده میکند که به یک منطقه مرکزی کلاس 100، یک منطقه بافر کلاس 1000، و یک منطقه کمکی کلاس 10000، با لایههایی که از آلودگی متقاطع جلوگیری میکنند، و پرسنل و خطوط انتقال خودکار مواد کاملاً از هم جدا شدهاند. پرسنل باید تحت یک فرآیند سه گانه تعویض لباس، دوش هوا، و تشخیص الکترواستاتیک قرار گیرند، و تنها پس از پوشیدن لباس کامل-تنظیم بدن، دستکشهای عاری از گرد و غبار{7}}و عینک میتوانند وارد شوند. مواد از طریق پنجرههای انتقال به هم قفل شده منتقل میشوند و تحت عملیات حذف گرد و غبار و الکتریسیته ساکن قرار میگیرند. فضای داخلی مجهز به هودهای جریان آرام FFU، شمارنده ذرات آنلاین، سنسورهای دما و رطوبت، مانیتورهای فشار دیفرانسیل، و سایر تجهیزات برای دستیابی به نظارت و قابلیت ردیابی دادهها در زمان واقعی 24{9}}ساعت است و بلافاصله هشدارها را صادر میکند و در صورت وجود نشانگرهای غیرطبیعی برای اطمینان از پایداری محیطی مداوم، هشدار میدهد و تنظیمات را انجام میدهد.
